| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06147831(A) |
申请公布日期 |
1994.05.27 |
| 申请号 |
JP19920194358 |
申请日期 |
1992.07.22 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
GUDORAN BOFUMAA |
| 分类号 |
G01B11/02;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G02B21/14;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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