发明名称 |
CONTROLLER FOR ELECTRO-MAGNETIC COATING FILM THICKNESS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06145940(A) |
申请公布日期 |
1994.05.27 |
申请号 |
JP19920319302 |
申请日期 |
1992.11.05 |
申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
AOI TATSUFUMI;KATO MITSUO;TSURUSAKI KAZUYA;HASHIMOTO RITSUO;UNOKI KENICHI;MIHARA KAZUMASA |
分类号 |
C23C2/24;G01B21/08;(IPC1-7):C23C2/24 |
主分类号 |
C23C2/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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