发明名称 CONTROLLER FOR ELECTRO-MAGNETIC COATING FILM THICKNESS
摘要
申请公布号 JPH06145940(A) 申请公布日期 1994.05.27
申请号 JP19920319302 申请日期 1992.11.05
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 AOI TATSUFUMI;KATO MITSUO;TSURUSAKI KAZUYA;HASHIMOTO RITSUO;UNOKI KENICHI;MIHARA KAZUMASA
分类号 C23C2/24;G01B21/08;(IPC1-7):C23C2/24 主分类号 C23C2/24
代理机构 代理人
主权项
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