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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06145982(A) 申请公布日期 1994.05.27
申请号 JP19920296837 申请日期 1992.11.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INABA JUNICHI;TATENO HIROAKI;SATO NOBUO;SHIMONO KAZUYUKI
分类号 C23C14/56;G11B5/85;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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