发明名称 DEFECT DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06148139(A) 申请公布日期 1994.05.27
申请号 JP19920294649 申请日期 1992.11.02
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;NIPPON S TEC:KK 发明人 UENO AKIO;IWAI AKIRA
分类号 G01N27/82;(IPC1-7):G01N27/82 主分类号 G01N27/82
代理机构 代理人
主权项
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