| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR COLLECTING METAL IMPURITY IN ATMOSPHERE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06148041(A) |
申请公布日期 |
1994.05.27 |
| 申请号 |
JP19920315760 |
申请日期 |
1992.10.30 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
MUKAI TOSHIO;TAKASUKA MASAMI |
| 分类号 |
G01N1/22;(IPC1-7):G01N1/22 |
主分类号 |
G01N1/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
