发明名称 |
CONTAMINATION PREVENTING DEVICE FOR ANALYZING EQUIPMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06148198(A) |
申请公布日期 |
1994.05.27 |
申请号 |
JP19920295929 |
申请日期 |
1992.11.05 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAGAYA ATSUSHI;OGUCHI KAZUO |
分类号 |
G01N30/24;G01N35/00;(IPC1-7):G01N35/00 |
主分类号 |
G01N30/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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