发明名称 Procédé d'alimentation gazeuse notamment en diborane et silane.
摘要 <p><P>On détermine en continu la teneur en diborane (B2 H6 ) dans un mélange avec du silane (SiH4 ) par mesure en continu de la masse volumique au moyen d'un densimètre à tube vibrant (14) et détermination subséquente de la teneur en B2 H6 . <BR/> Application à l'élaboration de couches de verre à base de bore, phosphate et silicate ("Boro-phospho-silicate glass").</P></p>
申请公布号 FR2698288(A1) 申请公布日期 1994.05.27
申请号 FR19920013956 申请日期 1992.11.20
申请人 AIR LIQUIDE 发明人 BRYSELBOUT FRANCIS
分类号 B01J4/02;B01J4/00;C01B33/04;C01B35/16;C03B37/014;C23C16/52;F17C13/02;G01N9/00;(IPC1-7):B01J12/00;B01F15/04;B01F3/02 主分类号 B01J4/02
代理机构 代理人
主权项
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