发明名称 VERFAHREN ZUR REGENERATION EINER KRYOPUMPE SOWIE ZUR DURCHFÜHRUNG DIESES VERFAHRENS GEEIGNETE KRYOPUMPE.
摘要
申请公布号 DE59101463(D1) 申请公布日期 1994.05.26
申请号 DE1991501463 申请日期 1991.09.10
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU 发明人 FLICK, GERD, D-5040 BRUEHL;MUNDINGER, HANS-JUERGEN, D-5040 BRUEHL;TIMM, UWE, D-6000 FRANKFURT 1;KLEIN, HANS-HERMANN, D-6360 FRIEDBERG;FORTH, HANS-JOACHIM, D-5000 KOELN 41;HAEFNER, HANS-ULRICH, D-5000 KOELN 50
分类号 F04B37/08;(IPC1-7):F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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