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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Substraten
摘要
申请公布号 DE4239511(A1) 申请公布日期 1994.05.26
申请号 DE19924239511 申请日期 1992.11.25
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU 发明人 ZOELLER, ALFONS, DIPL.-ING., 6483 BAD SODEN-SALMUENSTER;SCHNEIDER, ROLAND, DIPL.-ING., 6450 HANAU;STOLL, HELMUT, DIPL.-ING., 6231 SULZBACH;MATL, KARL, DR., 8752 KLEINOSTHEIM
分类号 C23C16/50;C23C14/32;C23C16/513;(IPC1-7):C23C14/32;C23C14/06 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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