Verfahren und Vorrichtung zur trocken Beschichtung.,申请号DE19930304290T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren und Vorrichtung zur trocken Beschichtung.
摘要
申请公布号	DE574178(T1)	申请公布日期	1994.05.26
申请号	DE19930304290T	申请日期	1993.06.03
申请人	SAKAE ELECTRONICS INDUSTRIAL CO. LTD., HIGASHIMATSUYAMA, SAITAMA;OHBA, KAZUO, HIGASHIMATSUYAMA, SAITAMA;SHIMA, KAORI, KAWASAKI, KANAGAWA;OHBA, AKIRA, ASAKA, SAITAMA	发明人	OHBA, KAZUO, HIGASHIMATSUYAMA-SHI, SAITAMA;SHIMA, YOSHINORI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA;OHBA, AKIRA, ASAKA-SHI, SAITAMA
分类号	C23C16/50;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/511;C23C16/515;C23C16/54;H01J37/32;H01L21/31;H05K3/40;(IPC1-7):C23C16/54	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
主权项
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