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发明名称 Microwave Apparatus for Depositing Thin Films
摘要
申请公布号 CA2146369(A1) 申请公布日期 1994.05.26
申请号 CA19932146369 申请日期 1993.11.10
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 IZU, MASATSUGU;DOTTER, BUDDIE R., II;OVSHINSKY, STANFORD R.;HASEGAWA, WATARU
分类号 C23C16/42;B65D65/42;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/02;B05D3/06 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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