Handling and processing system for workpieces in individual boxes.

摘要

Le système selon l'invention permet de manipuler et de transférer des objets plats sous atmosphère ultrapropre sans utiliser de salles blanches. Il comprend principalement des interfaces (5) permettant : d'accueillir des boîtes individuelles (1) contenant chacune un objet plat ; d'ouvrir chaque boîte ; et d'envoyer chaque objet plat dans un poste de travail (6A). Le système se complète de tunnels (4) permettant le transfert des objets plats d'un poste de travail (6A, 6B) à un autre. Application à la fabrication de circuits imprimés sur des plaques de silicium.