发明名称 DEVICE FOR GROWING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH06144987(A) 申请公布日期 1994.05.24
申请号 JP19920316166 申请日期 1992.10.30
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 TOYOSHIMA MASARU;HARADA ISAMU;OIWA HIDEO;NIWAYAMA TADASHI;ODA MICHIAKI
分类号 C30B15/14;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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