| 发明名称 |
DEVICE FOR PULLING UP SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06144988(A) |
申请公布日期 |
1994.05.24 |
| 申请号 |
JP19910273159 |
申请日期 |
1991.09.25 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
TAKAHASHI MICHIO;TOYOSAKI KOICHI |
| 分类号 |
C30B15/20;G01K1/14;G01K7/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/20 |
主分类号 |
C30B15/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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