| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06144985(A) |
申请公布日期 |
1994.05.24 |
| 申请号 |
JP19920321251 |
申请日期 |
1992.11.05 |
| 申请人 |
KOMATSU DENSHI KINZOKU KK |
发明人 |
OTA HIDEKI |
| 分类号 |
C30B13/00;C30B13/20;C30B27/00;H01L21/208;(IPC1-7):C30B13/00 |
主分类号 |
C30B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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