发明名称 |
DEFECT INSPECTING DEVICE FOR GLASS SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06138045(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
申请号 |
JP19920312866 |
申请日期 |
1992.10.28 |
申请人 |
TSUCHIYA MASAYOSHI |
发明人 |
TSUCHIYA MASAYOSHI;IIDA SHINYA |
分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G01N21/958;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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