| 发明名称 |
PLASMA VAPOR GROWTH REACTION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06140347(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19930134140 |
申请日期 |
1993.05.13 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;SHIBATA KATSUHIKO;MASE AKIRA;URATA KAZUO;SHINOHARA HISATO |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/30;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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