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发明名称 PATTERN INSPECTION DEVICE AND ITS METHOD
摘要
申请公布号 JPH06137831(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920286196 申请日期 1992.10.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TATE HIROYUKI
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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