| 发明名称 |
APPARATUS FOR MEASUREMENT OF ELECTRIC CHARACTERISTIC OF SEMICONDUCTOR WAFER BODY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06140478(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19910081023 |
申请日期 |
1991.03.19 |
| 申请人 |
SORITSUDO STATE MEJIYAMENTSU INC |
发明人 |
ROBAATO JII MEIZAA;ROBAATO SHII SUTEFUANSON;DONARUDO EI JIIIA JIYUNIA |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R1/067;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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