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发明名称 METHODS FOR MANUFACTURING AND INSPECTING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT BOARD AND SEMIPROCESSED PRODUCT USED THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH06140489(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19930198549 申请日期 1993.08.10
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 SAITO YUTAKA
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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