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发明名称 VAPOR PHASE EPITAXIAL CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06140338(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920288073 申请日期 1992.10.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MARUYAMA KENJI
分类号 C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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