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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06139992(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920016201 申请日期 1992.01.31
申请人 TEL VARIAN LTD 发明人 TAKAZOE TOSHIHIKO
分类号 H01J37/317;H01J49/30;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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