| 发明名称 |
INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06137846(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19930003213 |
申请日期 |
1993.01.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OTA FUMITO;YASUE TAKAO;FUKUMOTO KOJI;MORITA HIROYUKI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/24;G01Q60/38;H01J37/28;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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