| 发明名称 |
CRYSTAL DEFECT DETECTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06140488(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19920312844 |
申请日期 |
1992.10.28 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
FUKUI HIROYUKI;MATSUSHITA YOSHIAKI;KUBOTA ATSUKO |
| 分类号 |
G01N21/00;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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