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发明名称 AUTOMATIC CARRYING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06140495(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920291644 申请日期 1992.10.29
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YASUDA NOBUO
分类号 B65G37/00;B65G1/00;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G37/00
代理机构 代理人
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