发明名称 SEMICONDUCTOR CHIP SCREENING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06140483(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920288912 申请日期 1992.10.27
申请人 NIPPON ENG KK 发明人 KANEKO KAZUO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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