发明名称 METHOD OF FORMING TIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06140360(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920288903 申请日期 1992.10.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HARADA YUSUKE
分类号 C23C16/34;C23C16/455;C23C16/511;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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