| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE SUPPLYING DOPING SUBSTANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06139980(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19920291267 |
申请日期 |
1992.10.29 |
| 申请人 |
JAPAN STEEL WORKS LTD:THE |
发明人 |
YAMASHITA YASUO;ISOTANI YOSHIHIKO;YAMADA TERUO |
| 分类号 |
C30B31/20;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
C30B31/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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