发明名称 |
INTERFERENCE MEASURING METHOD AND ITS DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06137830(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
申请号 |
JP19920309700 |
申请日期 |
1992.10.23 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MATSUMOTO TAKAHIRO;CHITOKU KOICHI;NOSE TETSUSHI;SAITO KENJI |
分类号 |
G01B9/02;G01B11/24;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B9/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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