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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF PLASMA
摘要
申请公布号
JPH06140186(A)
申请公布日期
1994.05.20
申请号
JP19920284355
申请日期
1992.10.22
申请人
MITSUBISHI HEAVY IND LTD
发明人
IKEDA TETSUYA
分类号
C23C16/50;B23Q11/00;C23C16/27;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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