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发明名称
DETECTING METHOD FOR ETCHING END POINT OF ORGANIC SOG FILM
摘要
申请公布号
JPH06140366(A)
申请公布日期
1994.05.20
申请号
JP19920287937
申请日期
1992.10.26
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
YAMADA YUZURU
分类号
C23F4/00;G01J3/30;G01N21/62;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/90
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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