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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06140355(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920311383 申请日期 1992.10.26
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 NAKANO ATSUSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320;H01L29/62;H01L29/784 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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