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发明名称
FORMATION OF CONTACT
摘要
申请公布号
JPH06140516(A)
申请公布日期
1994.05.20
申请号
JP19910301769
申请日期
1991.11.18
申请人
SONY CORP
发明人
KUBOTA MICHITAKA
分类号
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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