发明名称 CVD DEVICE AND FILM GROWTH METHOD USING THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06140343(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920290080 申请日期 1992.10.28
申请人 SONY CORP 发明人 HASEGAWA TOSHIAKI
分类号 C23C16/52;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
主权项
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