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经营范围
发明名称
CVD DEVICE AND FILM GROWTH METHOD USING THEREOF
摘要
申请公布号
JPH06140343(A)
申请公布日期
1994.05.20
申请号
JP19920290080
申请日期
1992.10.28
申请人
SONY CORP
发明人
HASEGAWA TOSHIAKI
分类号
C23C16/52;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C16/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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