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发明名称
METHOD FOR ELECTRON BEAM EXPOURE
摘要
申请公布号
JPH06140309(A)
申请公布日期
1994.05.20
申请号
JP19920284854
申请日期
1992.10.23
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SAITO MASAYUKI
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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