| 发明名称 |
LIQUID CRYSTAL INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06138166(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19930144212 |
申请日期 |
1993.05.24 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK |
发明人 |
ARIGA TAKESHI;YOKOTA KEIICHI;NAKAGOME YOICHI |
| 分类号 |
G01R31/00;G01R31/02;G02F1/13;(IPC1-7):G01R31/02 |
主分类号 |
G01R31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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