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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06140410(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920284598 申请日期 1992.10.22
申请人 NIPPON SEMICONDUCTOR KK 发明人 SASAKI YOSHITAKA
分类号 H01L21/306;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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