| 发明名称 |
SILICON SUBSTRATE HAVING PHTHALOCYANINE THIN FILM AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06140622(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19920308514 |
申请日期 |
1992.11.18 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;TORAY RES CENTER:KK |
发明人 |
NONAKA TOSHINAKA;TAKAHAGI TAKAYUKI;ISHITANI HIKARI |
| 分类号 |
C23C14/12;H01L21/203;H01L51/00;H01L51/05;(IPC1-7):H01L29/28 |
主分类号 |
C23C14/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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