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发明名称 METHOD OF CRYSTALLIZING SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH06140324(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920307958 申请日期 1992.10.23
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 ONAKA EIICHI
分类号 H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20;H01L29/784 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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