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发明名称 DIAPHRAGM DEVICE FOR ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPH06139981(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920285676 申请日期 1992.10.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 KIKUCHI MASAMI;TAKAHASHI TADANORI
分类号 H01J37/09;(IPC1-7):H01J37/09 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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