发明名称 ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE ION SOURCE OF PULSE DRIVEN TYPE
摘要
申请公布号 JPH06139978(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920291265 申请日期 1992.10.29
申请人 JAPAN STEEL WORKS LTD:THE 发明人 YAMASHITA YASUO;ISOTANI YOSHIHIKO;YAMADA TERUO
分类号 H01J27/18;H01J37/08;H05H7/10;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/18
代理机构 代理人
主权项
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