发明名称 PROBE FOR MEASURING THERMOPHYSICAL VALUE OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06138062(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920293191 申请日期 1992.10.30
申请人 NEC CORP 发明人 OKUDA SHINICHI
分类号 G01K7/22;G01N25/18;(IPC1-7):G01N25/18 主分类号 G01K7/22
代理机构 代理人
主权项
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