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发明名称
MEASURING DEVICE FOR DEVICE DRIVE CURRENT DURING AGING
摘要
申请公布号
JPH06138174(A)
申请公布日期
1994.05.20
申请号
JP19920288913
申请日期
1992.10.27
申请人
NIPPON ENG KK
发明人
CHIBA HIROSHIGE
分类号
G01R31/26;H01L21/326;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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