| 发明名称 |
ELECTROMAGNETIC FIELD DISTRIBUTION MEASURING DEVICE USING CONVERGENCE ELECTRON RAYS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06138196(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19920287438 |
申请日期 |
1992.10.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAJIMA YUSUKE;TAKAHASHI YOSHIO;ICHIKAWA MASAKAZU;HOSOKI SHIGEYUKI |
| 分类号 |
G01N23/04;G01R31/305;G01R33/028;G01R33/12;(IPC1-7):G01R33/028 |
主分类号 |
G01N23/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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