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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06140330(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920290779 申请日期 1992.10.05
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KAWASAKI ATSUSHI
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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