发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06140395(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920286526 申请日期 1992.10.26
申请人 SONY CORP 发明人 KOMATSU YUJI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利