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发明名称
INSPECTING METHOD FOR BUMP OF WORK AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06137825(A)
申请公布日期
1994.05.20
申请号
JP19920291338
申请日期
1992.10.29
申请人
ORC MFG CO LTD
发明人
YAGI YASUHIKO
分类号
G01B11/24;H01L21/321;H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/24
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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