发明名称 INSPECTING METHOD FOR BUMP OF WORK AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06137825(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920291338 申请日期 1992.10.29
申请人 ORC MFG CO LTD 发明人 YAGI YASUHIKO
分类号 G01B11/24;H01L21/321;H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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