| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06140635(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19930123812 |
申请日期 |
1993.05.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOMORI KAZUHIRO;MEGURO SATOSHI;HAGIWARA TAKAAKI;KUME HITOSHI;TSUKADA TOSHIHISA;YAMAMOTO HIDEAKI |
| 分类号 |
H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
