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发明名称 Vorrichtung zur Herstellung von einer dünnen diamantartigen Kohlenstoffschicht.
摘要
申请公布号 DE69005938(T2) 申请公布日期 1994.05.19
申请号 DE1990605938T 申请日期 1990.07.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA 发明人 MITANI, TSUTOMU, AKASHI-SHI, HYOGO-KEN;NAKAUE, HIROKAZU, HIGASHIOSAKA-SHI, OSAKA-FU;KUROKAWA, HIDEO, KATANO-SHI, OSAKA-FU
分类号 C23C16/26;C23C16/452;C23C16/54;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/26;C23C16/50 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
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