Träger für scheibenförmige Gegenstände und Vorrichtung zum Ätzen von Siliziumscheiben mit einem solchen Träger.,申请号DE19883889073-传众专利搜索

发明名称	Träger für scheibenförmige Gegenstände und Vorrichtung zum Ätzen von Siliziumscheiben mit einem solchen Träger.
摘要
申请公布号	DE3889073(D1)	申请公布日期	1994.05.19
申请号	DE19883889073	申请日期	1988.10.31
申请人	SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG GES.M.B.H., BAD BLEIBERG, KAERNTEN	发明人	SUMNITSCH, FRANZ, A-9020 KLAGENFURT KAERNTEN
分类号	C23F1/08;B65G49/07;C23F1/00;C23F1/46;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	C23F1/08
代理机构		代理人
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